催化燃燒設備的工藝組成不同的排放場合和不同的廢氣，有不同的工藝流程。但不論采用哪種工藝流程，都由如下工藝單元組成。
①廢氣預處理，為了防止催化劑床層的堵塞和催化劑中毒，廢氣在進入床層之前有必要進行預處理，以除掉廢氣中的粉塵、液滴及催化劑的毒物。
②預熱設備，預熱設備包含廢氣預熱設備和催化劑燃燒器預熱設備。由于催化劑都有一個催化活性溫度，對催化燃燒來說稱催化劑起燃溫度，有必要使廢氣和床層的溫度抵達起燃溫度才調進行催化燃燒，因而，有必要設置預熱設備。但關于排出的廢氣本身溫度就較高的場合，如橡膠、漆包線、絕緣材料、烤漆等烘干排氣，溫度可達300℃以上，則不必設置預熱設備。
預熱設備加熱后的熱氣可選用換熱器和床層內布管的方法。預熱器的熱源可選用煙道氣或電加熱，現在選用電加熱較多。當催化反應初步后，可盡量以回收的反應熱來預熱廢氣。在反應熱較大的場合，還應設置廢熱回收設備，以節省動力。
預熱廢氣的熱源溫度一般都逾越催化劑的活性溫度。為保護催化劑，加熱設備應與催化燃燒設備堅持必定距離，這樣還能使廢氣溫度分布均勻。
從需求預熱這一點啟航，催化燃燒法適用于連續排氣的凈化，若間歇排氣，不只每次預熱需求耗能，反應熱也無法回收運用，會構成很大的動力浪費，在規劃和選擇時應留神這一點。
③催化燃燒設備，一般選用固定床催化反應器。反應器的規劃按規范進行，應便于操作，修補便當，便于裝卸催化劑。
在進行催化燃燒的工藝規劃時，應根據詳細情況，關于處理氣量較大的場合，規劃成分建式流程，即預熱器、反應器獨立裝設，其間用管道聯接。關于處理氣量小的場合，可選用催化燃燒爐，把預熱與反應組合在一起，但要留神預熱段與反應段間的距離。
在有機物廢氣的催化燃燒中，所要處理的有機物廢氣在高溫下與空氣混合易引起爆破，安全問題十分重要。因而，一方面有必要控制有機物與空氣的混合比，使之在爆破下限；另一方面，催化燃燒系統應設監測報警設備和有防爆方法。
